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技术啊
不太懂呢 国产的没有吗
技术跟不上
无知
光刻机又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
要知道光刻机制造的难度,就得知道光刻机的几个关键部件:
光源:必须稳定、高质量地提供***波长的光束
能量控制器:就是电源。电源要稳定、功率要足够大,否则光源发生器没办法稳定工作。大、稳、同时要考虑经济性能。耗电太高,客户就用不起。
掩膜版:通俗点理解,相当于过去用胶片冲洗照片时的底片。底片如果精度不够,是洗不出来高精度照片的。光刻机施工前,要根据设计好的芯片电路图制作掩膜板。掩膜板材质是石英玻璃,玻璃上有金属铬和感光胶。通过激光在金属铬上绘制电路图。精度要求非常高。
透镜:用透镜的光学原理,将掩膜版上的电路图按比例缩小,再用光源映射的硅片上。光在多次投射中会产生光学误差。要控制这个误差。精度要求很高。
就是测量台移动的控制器,也是纳米级精度,要求超高。
荷兰的ASML公司垄断了高端光刻机。但其透镜来自德国的蔡司,自己也做不了。光源是美国的Cymer。所以说它也不是完全技术独立。主要是技术难度太大。
资金上的困难
光刻机由于技术难度大,研发资金投入巨大,以至于佳能和索尼都亏损严重,已经停止研发,退出未来技术的竞争。荷兰的ASML,为了筹集资金,同时也是进行上下游利益捆绑,研发风险共担,邀请英特尔、三星和台积电出资,做自己的大股东。ASML实际上是美、日、韩、德等共同投资的项目,资金充裕。
中国也在此方面有长期投入,但投入水平和不能和多国合作同日而语。中国有相对宽裕的研发资金,也才是最近7、8年的事情,而光刻机的研发,10年都显然不够。
我们能不能也参与到荷兰的ASML的研发中呢?是不行的。因为发达国家之间,由美国牵头,搞了个《瓦森纳协定》,专门对中国进行技术禁运,技术封锁的。我们也买不到荷兰的ASML***的光刻机,更别说参股和技术合作了。
目前我们还在追赶,量产的是上海微电子的90纳米的,离ASML的10 纳米的差距很大。下一步,随着长春光机所的极紫外光技术的突破,有望冲击22-32纳米的技术。那时荷兰可能进入7纳米时代。虽然和7纳米还有很大差距,但如果能实现,进步也是惊人的。如果能做出量产型,就是***的水平了。
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原文链接:/forcj/article/details/112855757
哈哈。。。首先看看技术难度喽,再就是看看有钱赚没。
光盘刻录机以前好像国内是有的,现在着东西还有人用么??不是淘汰了么?
核心技术的困扰
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